制取超純水需要經過預處理系統(tǒng)→一級反滲透系統(tǒng)→二級反滲透系統(tǒng)→EDI系統(tǒng)→超純水，經過每個環(huán)節(jié)產水量率都是不一樣的，10噸每小時超純水，預處理大概要20噸。預處理產水率100%，一級反滲透系統(tǒng)產水率65-70%，二級反滲透系統(tǒng)產水率不低于85%，EDI系統(tǒng)產水率90-95%，達到10噸每小時超純水出力。

石英砂過濾器和活性炭過濾器為預處理設備，以保證后續(xù)系統(tǒng)的正常運行；一/二級反滲透系統(tǒng)為脫鹽設備，除去水中大部分電解質；EDI系統(tǒng)深度凈化除鹽，使產水符合生產要求，EDI系統(tǒng)裝置采用PLC全自動控制。